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產(chǎn)品詳細頁(yè)
日立掃描電子顯微鏡
- 產(chǎn)品型號：SU8600
- 更新時(shí)間：2024-03-20
- 產(chǎn)品介紹：日立掃描電子顯微鏡SU8600高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列*設備照片包含選配項。
- 在線(xiàn)留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
日立掃描電子顯微鏡
SU8600
高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
*設備照片包含選配項。
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(cháng)時(shí)間穩定運行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還提升了高通量、自動(dòng)數據獲取能力。
特點(diǎn)
*高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在低著(zhù)陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀(guān)察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時(shí)間不到1秒，也仍然可以觀(guān)察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.
自動(dòng)化功能*
EM Flow Creator 允許客戶(hù)創(chuàng )建連續圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶(hù)可以通過(guò)簡(jiǎn)單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過(guò)調試和確認后，該程序便可以在每次調用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現性好的圖像數據。
靈活的用戶(hù)界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現快速的多信號觀(guān)測與采集。
日立掃描電子顯微鏡
技術(shù)參數
機型 | SU8600 系列 | |
電子光學(xué)系統 | 二次電子像分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
0.7 nm@1 kV * | ||
放大倍率 | 20 to 2,000,000 x | |
電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽(yáng)極烘烤系統。 | |
加速電壓 | 0.5 to 30 kV | |
著(zhù)陸電壓 * | 0.01 to 20 kV | |
探測器 | （部分為選配項） | 上探測器(UD) |
UD ExB能量過(guò)濾器，包含SE/BSE信號混合功能 | ||
下探測器(LD) | ||
頂探測器(TD) | ||
TD能量過(guò)濾器 | ||
鏡筒內背散射電子探測器(IMD) | ||
半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED) | ||
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD) | ||
陰極熒光探測器(CLD) | ||
掃描透射探測器(STEM Detector) | ||
附件 | （部分為選配項） | 導航相機、樣品室相機、X射線(xiàn)能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD) |
軟件 | （部分為選配項） | EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下） |
樣品臺 | 馬達驅動(dòng)軸 | 5軸馬達驅動(dòng)（X/Y/R/Z/T） |
馬達驅動(dòng)軸 | X：0~110 mm | |
Y：0~110 mm | ||
Z：1.5~40 mm | ||
T：-5~70° | ||
R：360° | ||
樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑可達：150 mm |
*減速模式下